2019年1月，國際標準化組織（ISO）發(fā)布了在成像表面化學分析中測量橫向分辨率和明銳度的方法ISO 18516: 2019。它適用于所有使用光束在已設置好的儀器下分析表面化學成分的表面分析方法。同時它也適用于能在預先選定的視場中用精細聚焦光束對樣品能進行掃描的掃描儀器，以及能讓視場同時被寬光束、成像透鏡系統(tǒng)和像素化檢測器成像的全場成像儀器。測量橫向分辨率和明銳度的方法如下：

　?。本€邊緣法（the straight edge method）；

　　－窄線法（the narrow line method）；

　?。鈻欧ǎ╰he grating method）。

　　該標準適用于提供納米厚度層信息的儀器和方法，也適用于具有納米尺寸結構和獨立納米物體的表面。

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