2022年7月11日，廣東省真空學會根據(jù)《廣東省真空學會團體標準管理辦法》規(guī)定，批準發(fā)布T/GVS 007—2022《射頻電源動態(tài)阻抗測試方法》團體標準，標準于發(fā)布之日起實施。

《射頻電源動態(tài)阻抗測試方法》規(guī)定了射頻電源動態(tài)阻抗測試方法的術語和定義、原理、測試環(huán)境條件、儀器設備、測試方法、測試報告。該標準適用于半導體刻蝕、薄膜沉積等應用場合中，輸出頻率0.2 MHz～100 MHz的射頻電源動態(tài)阻抗測試。

關注“廣東技術性貿易措施”，獲取更多服務。