高真空和超高真空被用于尖端材料研究和微電子生產(chǎn)中。電離計是用來測量此類真空環(huán)境下壓力的唯一方法。制造電離計使用的不同方法，以及電離過程中使用的不同氣體，導致不同電離計之間的相對靈敏度系數(shù)有很大差異，而且都缺乏長期穩(wěn)定性。這些制造方法的性能可以通過標準化來大大改善。

2020年12月28日消息，最近完成的歐洲創(chuàng)新與研究計量計劃（EMPIR）項目“為電離真空計制定文件標準”（Towards a documentary standard for an ionisation vacuum gauge，16NRM05）致力于為改良后并已標準化的電離計規(guī)定所有相關(guān)參數(shù)。這些技術(shù)成果將為關(guān)于電離計的新ISO標準提供參考依據(jù)。

該項目開發(fā)了一個具有標準功能和性能的標準化電離計，這意味著它可以用來實現(xiàn)測量的可追溯性。

該電離計將供校準實驗室使用，為校準實驗室提供一個可靠的參考標準，并允許電離真空計的制造商按照即將出臺的ISO技術(shù)規(guī)范生產(chǎn)該真空計，這將是一個新的工作組的主題，也是EMPIR的一個新項目“開發(fā)一項ISO技術(shù)規(guī)范‘穩(wěn)定電離真空計的特征’”（Developing an ISO Technical Specification "Characteristics for a stable ionisation vacuum gauge，20SIP01，ISO量具）。

本新聞由廣東省WTO/TBT通報咨詢研究中心摘錄/編輯/整理并翻譯，轉(zhuǎn)載請注明來源。

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